
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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双极性对称磁控溅射靶材
半导体工艺
手机外壳
触摸面板
钟表、3c及其他产品
具备过压、过载和过热等保护
增加离化率,膜层致密、光洁度较好
有效抑制靶面异常放电,响应时间<500ms
功率、电压或电流三大模式
可靠性高,电源效率高
项目 | 型号 | ||||||||
ms-10/a ms-10/b | ms-20/a ms-20/b | ms-30/a ms-30/b | ms-40/a ms-40/b | ms-50/a ms-50/b | ms-60/a ms-60/b | ms-80/a ms-80/b | ms-100/a ms-100/b | ms系列电源 | |
输入电压 | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | ||||||||
输出功率 | 10kw | 20kw | 30kw | 40kw | 50kw | 60kw | 80kw | 100kw | 10kw-200kw可定制 |
a款:工作电流 | 2a-10a | 3a-20a | 5a-30a | 7a-40a | 9a-50a | 10a-60a | 15a-80a | 20a-100a | 2a-200a可定制 |
a款:工作电压 | 100~1000v(空载电压>1000v) | ||||||||
b款:工作电流 | 2a-12.5a | 3a-25a | 5a-37.5a | 7a-50a | 9a-62.5a | 10a-75a | 15a-100a | 20a-125a | - |
b款:工作电压 | 100~800v(空载电压>800v) | - | |||||||
输出频率 | 20khz~350khz(常规频率:20khz~40khz) | ||||||||
占空比 | 80% | ||||||||
工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||||||
调节精度 | ≤1% | ||||||||
工作效率 | ≥90% | ||||||||
响应时间 | <500ns | ||||||||
通讯方式 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||||||||
冷却方式 | 风冷 水冷 | ||||||||
尺寸(mm) | 390(d)×425(w)×142(h) | 710(d)×435(w)×225(h) | 810(d)×435(w)×280(h) | ||||||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
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