
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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1.单极性磁控溅射靶材
2.金属膜、碳膜和部分氧化物
3.氮化物及碳化物膜
提高镀膜效率、降低成本
能有效抑制或消除靶材表面的弧光放电现象
提高膜层质量,增加沉积薄膜的致密性
提供更加稳定的等离子体环境,能提高其溅射速率和沉积效率
金属、合金、氧化物、氮化物等材料的沉积
项目 | 型号 | |||||||
pm-100w | pm-500w | pm-10/a pm-10/b | pm-20/a pm-20/b | pm-30/a pm-30/b | pm-40/a pm-40/b | pm-60/a pm-60/b | pm-80/a pm-80/b | |
输入电压 | 24vdc | 220v ±10% ,50~60 hz | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | |||||
输出功率 | 100w | 500w | 10kw | 20kw | 30kw | 40kw | 60kw | 80kw |
a款:工作电流 | 1-100ma | 1a | 2a-10a | 3a-20a | 4a-30a | 5a-40a | 8a-60a | 10a-80a |
a款:工作电压 | 10v~1000v | 10v~500v | 100v~1000v(空载电压>1000v) | |||||
b款:工作电流 | - | - | 2a-12.5a | 3a-25a | 4a-37.5a | 5a-50a | 8a-75a | 10a-100a |
b款:工作电压 | - | - | 100v~800v(空载电压>800v) | |||||
空载电压 | >1000v | >500v | - | |||||
工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||||
输出频率 | - | 40khz~80khz | 20khz~350khz(常规频率:20khz~80khz) | |||||
占空比 | - | 10%-94% | 10%-80%(最大94%) | |||||
调节精度 | ≤1% | ≤1% | ||||||
工作效率 | ≥90% | ≥90% | ||||||
响应时间 | <500ns | <500ns | ||||||
通讯方式 | rs485 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||||||
冷却方式 | - | 风冷 | 风冷 水冷 | |||||
尺寸(mm) | 260(d)×160(w)×75(h) | 390(d)×425(w)×142(h) | 710(d)×435(w)×225(h) 810(d)×435(w)×280(h) | |||||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
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