
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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1.多弧离子、磁过滤电弧离子、直流磁控溅射、中频磁控等镀膜工艺
2.被镀工件表面的辉光放电清洗
3.镀膜前的离子轰击
4.镀膜时的离子加速
改善膜层质量,提高膜层均匀性
具有效率高、运行稳定等优点
增加膜层与基体结合力,提高沉积速率
主动释放工件异常电荷积累,有效抑制工件表面异常放电
改变沉积规则,调整膜层颜色
项目 | 型号 | ||||
bp-10 | bp-20 | bp-30 | bp-40 | bp系列电源 | |
输入电压 | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | ||||
输出功率 | 10kw | 20kw | 30kw | 40kw | 10kw-100kw可定制 |
工作电流 | 11a | 22a | 33a | 44a | 2a-100a可定制 |
工作电压 | 80v-800v/10v-100v | ||||
输出频率 | 10khz~40khz | ||||
占空比 | 10%~80%(最大94%) | ||||
空载电压 | >800v | ||||
调节精度 | ≤1% | ||||
工作效率 | ≥90% | ||||
响应时间 | <500ns | ||||
通讯方式 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||||
冷却方式 | 风冷 水冷 | ||||
尺寸(mm) | 710(d)×435(w)×225(h) | 710(d)×435(w)×225(h) 810(d)×435(w)×280(h) | |||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
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