
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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1.多弧离子、磁过滤电弧离子、直流磁控溅射、中频磁控等镀膜工艺
2.被镀工件表面的辉光放电清洗
3.镀膜前的离子轰击
4.镀膜时的离子加速
改善膜层质量,提高膜层均匀性
具有效率高、运行稳定等优点
增加膜层与基体结合力,提高沉积速率
强大的抑弧功能,有效抑制工件表面异常放电
改变沉积规则,调整膜层颜色
项目 | 型号 | |||||
db-100w | db-5/a db-5/b | db-10/a db-10/b | db-20/a db-20/b | db-30/a db-30/b | db系列电源 | |
输入电压 | 24vdc | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | ||||
输出功率 | 100w | 5kw | 10kw | 20kw | 30kw | 100w-100kw可定制 |
a款:工作电流 | 10ma-100ma | 1a-5a | 2a-10a | 3a-20a | 4a-30a | 1a-100a可定制 |
a款:工作电压 | 100v-1000v(空载电压>1000v) | |||||
b款:工作电流 | - | 1a-6.25a | 2a-12.5a | 3a-25a | 4a-37.5a | 1a-100a可定制 |
b款:工作电压 | - | 100v-800v(空载电压>800v) | ||||
调节精度 | ≤1% | ≤1% | ||||
工作效率 | ≥90% | ≥90% | ||||
响应时间 | <500ns | <500ns | ||||
通讯方式 | rs485 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||||
冷却方式 | 风冷 | 风冷 水冷 | ||||
尺寸(mm) | 390(d)×425(w)×142(h) | 710(d)×435(w)×225(h) 810(d)×435(w)×280(h) | ||||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
注:可定制直流叠加脉冲偏压电源
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