
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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各种科研
镀膜新工艺研发
绕射性优异
提供抗腐蚀、耐磨损镀膜
方便与现有工艺条件匹配
项目 | 型号 | ||
hvms-2 | hp-500 | hipims系列电源 | |
输入电压 | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | ||
输出脉冲功率 | 2mw | 400kw | 100kw-2000kw可定制 |
输出电流 | 10a-1000a | 10a-500a | 2a-1000a可定制 |
工作电压 | 100v-2000v | 100v-800v | 10v-2000v可定制 |
输出频率 | 100hz~1000hz | ||
占空比 | 1%-10% | ||
通讯方式 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||
冷却方式 | 风冷 水冷 | ||
尺寸(mm) | 810(d)×435(w)×280(h) | ||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
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