
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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双极性对称磁控溅射靶材
半导体工艺
手机外壳
触摸面板
钟表、3c及其他产品
具备普通中频电源所有功能
镀膜速度提升20%以上,镀膜质量及均匀性均有所上升,色差更小,亮度优于普通中频电源
针对不同靶材灵活设定频率,帮助客户最优化定制抑弧性能、膜层性能、沉积速率
平衡靶材溅射速率,延长生产周期,节省靶材成本。还可以实现共溅射功能,溅射不同靶材
超宽的阻抗匹配范围,适合更多种类靶材,工艺窗口更宽
项目 | 型号 | ||||
bs-10 | bs-20 | bs-30 | bs-40 | bs系列电源 | |
输入电压 | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | ||||
输出功率 | 10kw | 20kw | 30kw | 40kw | 10kw-100kw可定制 |
工作电流 | 2a-10a | 3a-20a | 5a-30a | 7a-40a | 2a-100a可定制 |
空载电压 | >1000v | ||||
工作电压 | 100v~1000v(可定制) | ||||
工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||
输出频率 | 20khz~160khz(常规频率:20khz~40khz) | ||||
波形 | 用户可调方波 | ||||
占空比 | 5%-94% | ||||
调节精度 | ≤1% | ||||
工作效率 | ≥90% | ||||
响应时间 | <500ns | ||||
通讯方式 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||||
冷却方式 | 风冷 水冷 | ||||
尺寸(mm) | 390(d)×425(w)×142(h) | 710(d)×435(w)×225(h) | 710(d)×435(w)×225(h) 810(d)×435(w)×280(h) | ||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
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