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pecvd电源-9001cc金沙首页

pecvd电源
pecvd电源

pecvd电源

应用领域:

1.半导体制造

2.光伏产业

3.微电子领域

型号参数 应用领域

型号参数

项目型号

l**-10/a

l**-10/b

l**-20/a

l**-20/b

l**-30/a

l**-30/b

l**-40/a

l**-40/b

pecvd系列电源
输入电压三相交流380v ±10%,50~60 hz
输出功率10kw20kw30kw40kw10kw-100kw可定制
a款:工作电流2a-10a3a-20a4a-30a5a-40a2a-100a可定制
a款:工作电压100v~1000v(空载电压>1000v)
b款:工作电流2a-12.5a3a-25a4a-37.5a5a-50a-
b款:工作电压100v~800v(空载电压>800v)-
输出频率20khz~350khz(常规频率:20khz~80khz
占空比10%~80%(最大94%)
工作方式恒压、恒流、恒功率
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议
冷却方式风冷 水冷
尺寸(mm)390(d)×425(w)×142(h)710(d)×435(w)×225(h)

710(d)×435(w)×225(h) 

810(d)×435(w)×280(h)

安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


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