
单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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项目 | 型号 | ||||
l**-10/a l**-10/b | l**-20/a l**-20/b | l**-30/a l**-30/b | l**-40/a l**-40/b | pecvd系列电源 | |
输入电压 | 三相交流380v ±10%,50~60 hz | ||||
输出功率 | 10kw | 20kw | 30kw | 40kw | 10kw-100kw可定制 |
a款:工作电流 | 2a-10a | 3a-20a | 4a-30a | 5a-40a | 2a-100a可定制 |
a款:工作电压 | 100v~1000v(空载电压>1000v) | ||||
b款:工作电流 | 2a-12.5a | 3a-25a | 4a-37.5a | 5a-50a | - |
b款:工作电压 | 100v~800v(空载电压>800v) | - | |||
输出频率 | 20khz~350khz(常规频率:20khz~80khz) | ||||
占空比 | 10%~80%(最大94%) | ||||
工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||
调节精度 | ≤1% | ||||
工作效率 | ≥90% | ||||
响应时间 | <500ns | ||||
通讯方式 | rs485、光纤等通讯端口,modbus通讯协议 | ||||
冷却方式 | 风冷 水冷 | ||||
尺寸(mm) | 390(d)×425(w)×142(h) | 710(d)×435(w)×225(h) | 710(d)×435(w)×225(h) 810(d)×435(w)×280(h) | ||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |
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